2020年净利润5.37亿，同比增加73.75%。公司具有具有60多年的产品研发前史，现在根本的产品包括半导体配备、真空配备、新能源锂电配备等。所供给的半导体设备及部件类产品有刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、分散炉、清洗机及MFC等7大类，面向集成电路、先进封装、半导体照明、微机电体系、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏、平板显现等8个产品范畴，包括了半导体生产前处理工艺制程中的大部分要害工艺配备。

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