外表清洁对许多制造业来说是一个最其本的流程与步驱，但知对产品良冷影响非常大，由干等离子外表清洗相对于溶剂清洁有甚多的长处，包含清洁功率强且良率高、可一同进行外表改质(改动外表官能基以提高外表化学特性)、无溶液渍痕、操作本钱低、无有机溶剂排放等环保问题，所以等离子清洁及外表处理已广泛被许多制造业所选用。

  火焰等离子清洗机，望文生义便是看其来有点像火焰的等离子清洗机(如图所示)，因为其是在大气环境下发生的等离子体火焰，所以也叫大气等离子清洗机，火焰式等离子清洗机发生的看起来像火焰的东西，其实是等离子体，它并没多高温度，一般温度也就100摄氏度左右，所以也叫低温等离子体

  类似于物质的固态、液态、气态三种方式，等离子体是物质的别的一种状况。与物质的三种惯例状况所不同的是，等离子体很难在天然条件下存在。组成等离子体的成分包含:电子、正负离子、激起态原子、分子以及活性自在基等。气体电离是发生等离子体最主要的办法，依据电离所选用的能量方式又分为:光致电离、热致电离、场致电离和辐射电离。通常情况下，气体分子被施加必定的能量后，组成其的原子将会互相别离，亦即解离。假如气体分子持续给施加更高的能量，那么原子外部的电子将会脱离原子核构成自在电子一部分失掉电子的原子将变成正离子，还有一部分原子会得到电子而构成负离子。一起，还会有原子和分子的激起发生，从而构成激起态的原子和光子等离子。这个将气体分子变成包含多种离子而全体出现电中性的进程便是气体的等离子体化。

  火焰式等离子清洗机由一圆管状金属电极围住另一金属电极于管中心，两电极一端接电源供应器、一端接地，使用尖端放电后，由高流速气体流经圆管内将电弧喷出发生安稳等离子体。其特征为等离子体面积小、能量会集、处理功率高、发生的臭氧浓度较低、静电素积较小。

  (1)各种基材如ITO/Nb2O5/Bareglass，在镀膜、网印、涂装或粘结前的外表清洁与改质。

  因为火焰式等离子清洗机具有低设备本钱，简略易操作，高产能可连续生发生优势，现在已可替代部分的低压等离子清洗机使用于光电半导体、民生、轿车及生物医用资料工业，对较造本钱及提高产品功能有这极大的助益。现阶段火焰式等离子清洗机大多数都用在资料外表清洁、活化、改性等制程，可通过火焰式等离子清洗机贱价及量产性的优势并结合其他的先进的技能一起战胜各式制程的问题。

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